檢索結果:共5筆資料 檢索策略: "周賢鎧".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="氮化鎵"
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本論文是以藍光二極體氮化鎵(GaN)晶片為基材,以熱蒸鍍法依序蒸鍍Au、AuBe及Au於氮化鎵晶片後,再利用快速升溫爐與傳統管狀爐兩種不同之加熱方式,進行試片之合金化熱處理。 當試片經過快速升溫熱處…
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本研究利用原子層磊晶(ALE)技術合成氮化鎵(GaN)及氮化銦鎵(InxGa1-xN)三元混晶膜。以二乙基一氯鎵(DEGaCl)及氨氣(NH3)作為反應原料,並選用已成長氮化鎵的藍寶石磊晶片為基材,…
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本研究利用有機金屬化學氣相沈積方式,以三甲基鎵(TMGa)及氨氣(NH3)分別為其鎵源和氮源合成氮化鎵結構。在一維結構方面,使用鍍上金觸媒的Si(100)、藍寶石單晶及氮化鎵單晶為基材來沈積氮化鎵。…
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本研究成功的以RF反應式濺鍍法來製備III族氮化物薄膜,如GaN與InGaN等薄膜,濺鍍所需要的靶材則是將不同比例的金屬In、Ga與GaN陶瓷粉末混合後熱壓而成的陶金靶,靶材中的Ga含量需小於GaN…
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本論文使用有機金屬氣相沈積法(metalorganic chemical vapor deposition, MOCVD)製備氮化鎵/氮化銦鎵發光二極體,分別利用添加ZnO當作緩衝層、改變GaN在高…